高精密測量系統儀器配套服務商
0512-5523-281813913288702
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| 型號 | CONTOURECORD 2600G/1600G | ||||||||||
| -11 | -12 | -13 | -14 | -15 | -16 | -17 | -18 | ||||
| 測量范圍 | Z 軸（縱向） | 50 mm | |||||||||
| X 軸（橫向） | 100 mm | 200 mm | |||||||||
| 精度 | C1600G系列 | Ｚ軸指示精度（縱向） | ±0.25%（全量程）；±4μm（在±2.5mm量程范圍內 | ||||||||
| 測量分辨率 | 0.1μｍ/5 mm量程 、0.4μｍ/20 mm量程、1μｍ/50 mm量程 | ||||||||||
| C2600G系列 | Ｚ軸指示精度（縱向） | ±（0.8 + |4H|/100）μm （H ：測量高度 mm） | |||||||||
| 測量分辨率 | 0.025 μm | ||||||||||
| 共通 | Ｘ軸指示精度（橫向） | ±（1 + 2L/100）μm （L ：測量長度 mm） | |||||||||
| 驅動部 | 分辨率 | 0.04 μm | |||||||||
| 直線度精度 | 1 μm/100 mm | 2 μm/200 mm | |||||||||
| 感應方式 | 莫爾光柵尺 | 線性光柵尺 | |||||||||
| 測量速度 | 0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6 mm/s （8速） | ||||||||||
| 立柱上下動速度（Ｚ軸 | — |
10 mm/s （3 mm/s） ＊1 |
— |
10 mm/s （3 mm/s） ＊1 |
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| 傳感器 | 感應方式 | C1600G系列 | 差動變壓器 | ||||||||
| C2600G系列 | 激光光柵尺 | ||||||||||
| 測針、測量力、功能 | 更換式、10mN ? 30mN、無級（帶收縮功能） | ||||||||||
| 測針半徑（測針材質 | 25μmR（圓錐超硬合金）2個 標準配置 | ||||||||||
| 測量方向、姿勢 | 拉推方向、上下方向、最大追蹤角度 ：77° | ||||||||||
| 運行范圍 | 驅動部行程 | 100 mm | 200 mm | ||||||||
| 立柱上下移動行程 | 250 mm | 450 mm | 250 mm | 450 mm | |||||||
| 石平臺參數 | 尺寸 | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | ||||||
| 容許承載質量 | 使用臺式除振臺（E-VS-S57B/S58B）時 | 41 kg | 35kg | 26kg | - | 35kg | 29kg | 20kg | - | ||
| 使用臺式大型除振臺(E-VS-S45A)時 | 50kg | 40kg | 30kg | 91kg | 50kg | 40kg | 30kg | 85kg | |||
| 使用除振臺（E-VS-R16D）時 | 50kg | 40kg | 30kg | 41kg | 50kg | 40kg | 30kg | 35kg | |||
| 使用除振臺（E-VS-R21B）時 | 50kg | 40kg | 30kg | 100kg | 50kg | 40kg | 30kg | 100kg | |||
| 參數 | 設置尺寸* 2 | 寬度 | 2000 mm | 2300 mm | 2000 mm | 2300 mm | |||||
| 深度 | 1000 mm | 1000 mm | |||||||||
| 高度 | 1700 mm | 1900 mm | 1700 mm | 1900 mm | |||||||
| 重量 | 115kg | 125kg | 130kg | 235kg | 125kg | 130kg | 140kg | 245kg | |||
| 電源、消耗功率 | 單相AC220V ± 10%（需接地）、電源頻率50Hz、710VA | ||||||||||
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*1 ： J/S操作時 *2 ： -11、-12、-13、-21、-22、-23是包括屬于選配的架臺(E-VS-S13A)和臺式除振臺(E-VS-S57B)及電腦臺(E-DK-S24A)在內的概算尺寸。 -14、-24是包括屬于選配的大型除振臺(E-VS-R16D )及電腦臺(E-DK-S24A)在內的概算尺寸。 |
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咨詢熱線
0512-5523-2818
